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判例情報


平成25年 (行ケ) 第10088号
窒化インジウムガリウム半導体の成長方法事件


弁理士 玉腰 紀子
弁理士 須山 佐一

○事案の概要

本件発明は,「【請求項1】基板上に,有機金属気相成長法により,次に成長させる窒化ガリウム層よりも低温で成長させるバッファ層を介して,バッファ層よりも高温で原料ガスのキャリアガスとして水素を用いて成長させた該窒化ガリウム層の上に前記キャリアガスを窒素に切替え,原料ガスとして,ガリウム源のガスと,インジウム源のガスと,窒素源のガスとを用い,同じく有機金属気相成長法により,600℃より高く,900℃以下の成長温度で,インジウム源のガスのインジウムのモル比を,ガリウム1に対し,1.0以上に調整して,窒化インジウムガリウム半導体を成長させることを特徴とする窒化インジウムガリウム半導体の成長方法。」の発明である。

審決は,本件発明と甲1発明の相違点1として,本件発明1は,キャリアガスとして水素を用いて「窒化ガリウム層」を成長させ,その後,キャリアガスを切替えて,キャリアガスとして窒素を用いて「窒化インジウムガリウム半導体」を成長させるのに対して,甲1発明は,キャリアガスとして水素または窒素を用いるものの,「窒化ガリウム層」成長時と「窒化インジウムガリウム半導体」成長時とで,それぞれキャリアガスとして水素または窒素のどちらを用いるのか不明である点,を認定し,相違点1は甲1発明から想到容易ではないと判断した。

○判決のポイント

有機金属気相成長法において,形成される複数の層に応じてそれぞれキャリアガスを切り替えることと,同じキャリアガスを用いることとは技術思想が異なると認定され,本件発明の容易想到性を否定した審決の判断が維持された。

 事件番号等:平成25年(行ケ)第10088号(知財高裁 H26.04.24 判決言渡)
 事件の種類:特許維持審決取消請求(請求棄却)
 原告/被告:ユニティー オプト テクノロジーカンパニー リミテッド/日亜化学工業株式会社
 キーワード:InGaN,結晶性,技術思想
 関連条文:特許法29条2項

○裁判所の判断

(1)本件発明1は,サファイア基板の上にInGaNを成長させることによるInGaNの結晶性の悪さ等の問題を解決するため,高品質で,かつ優れた結晶性を有するInGaNを生成することを解決課題とし,有機金属気相成長法において,キャリアガスとしてHを用いてGaN層を成長させ,キャリアガスをNに切り替えて,当該GaN層の上にInGaN層を成長させるとの構成を採用したものである。これに対し,甲1発明は,サファイア基板上にn-GaInN層の結晶を直接成長させると,良質な結晶性を有するn-GaInN層を得ることができないとの問題を解決するため,発光領域に高品質のpn接合を形成し,直接遷移を利用した高効率の半導体発光素子の製造方法を提供することを解決課題とした発明であり,その解決課題は本件発明1の解決課題と共通する点がある。

(2)しかし,甲1文献には,キャリアガスとしてH又はNを用いることは開示されているものの,AlGa1-zN層(0≦z≦1)(GaN層)の形成時とGaIn1-xN層(0≦x≦1)の形成時とで,キャリアガスを切り替えることについての記載も示唆もない。また,有機金属気相成長法によって連続して異なる組成による層を形成するに当たり,形成させる層に応じてキャリアガスを切り替えることと,全ての層の形成を同じキャリアガスを用いて行うこととは技術思想が異なると解されるところ,優先日当時,有機金属気相成長法によって連続して異なる組成による層を形成するに当たり,形成させる層に応じてキャリアガスを切り替えるとの公知技術や周知技術があったと認めるに足りる証拠はない。したがって,優先日当時,形成させる層に応じてキャリアガスを切り替えるとの技術思想はなかったものと認められる。

 したがって,当業者が,甲1文献の記載から,本件発明1の相違点1に係る構成に容易に想到し得るとはいえない。

(玉腰 紀子)

○コメント

 被告は,原告に対する反論として,「キャリアガスとしてHを用いた場合は,Nを用いた場合と比較して,純度が高い,自然対流が起きにくい,成長速度が大きいとのメリットがあった」から,当業者は,成長させる層の種類が異なるとしても,結晶成長過程を通してキャリアガスとしてHを用い続けるのが常識的であった,として,結晶成長過程において,キャリアガスをHからNへ切り替えることについて阻害要因が存在することを主張している。
 本件判決は,この阻害要因については判断せず,優先日当時,形成する層に応じてキャリアガスを切り替えるとの技術思想がなかったことをもって容易想到性を否定している。
 しかし,優先日当時,キャリアガスを切り替える技術が存在していたような場合には,このような阻害要因の主張は,それを裏付ける十分な証拠さえあれば,容易想到の動機付けを否定する理由として有効なように思われる。

(須山 佐一)

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